全自動晶圓激光打標機
功能特點
技術參數
樣品應用
產品標簽
1）激光器系統
2）外光路系統
3）X/Y/theta三軸精細運動系統
4）機器人上下料系統
5）尋邊定位系統
6）高速掃描振鏡系統
7）調焦對焦系統
8）抽氣除塵系統（凈化）
9）邏輯控制系統
10）花崗巖基座平臺
| ?激光類型 |
紫外激光 |
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光束質量 |
≥90% |
| 激光功率 |
3W?/?5W?/?8W?/?10W |
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激光波長 |
355nm |
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加工材料 |
ND:YVO4 |
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光斑模式 |
TEM00(≤1.2) 基膜 |
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工作幅面 |
70mm×70mm/100mm×100mm/150mm×150mm?(可選) |
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最大打標速度 |
≤7000mm/s |
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最小線寬 |
0.01mm |
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最小光斑直徑 |
15um |
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光斑入射角 |
Mrad<2 |
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最小字符 |
0.15mm |
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重復精度 |
±0.003mm |
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脈沖頻率 |
20KHz-200KHz |
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電源 |
220v/50Hz/10A |
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冷卻系統 |
風冷 |
適用于硅晶圓的定位十字叉表可和ID序列號打標。
